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1、角度測量原理 角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現(xiàn)±1…[詳情]

1、直線度測量原理 雙頻激光測頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進行干涉測量。通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對于激…[詳情]

1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個測量基準(zhǔn)軸對兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進行比較，算出兩個軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調(diào)整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內(nèi)沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

1、回轉(zhuǎn)軸測量原理利用鐳測激光干涉儀的角度測量附件，結(jié)合高精密轉(zhuǎn)臺，便可以對回轉(zhuǎn)軸進行校準(zhǔn)。轉(zhuǎn)臺小巧輕便，單手可握住并可以多種方式安裝到機床上；支持內(nèi)置電池或線纜供電，藍牙傳輸數(shù)據(jù)；內(nèi)置準(zhǔn)直光靶，提高對光效率；任意角度、任意間隔自動測量。 2、測量步驟和數(shù)據(jù)處理[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

Information in English:LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdfNonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf[詳情]

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里， 一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；[詳情]