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1、重復(fù)定位精度測量原理重復(fù)定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個角錐反射鏡…[詳情]

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個根本弱點。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時，這一缺點十分突出，而雙頻激光…[詳情]

1、平面度 平面測量是在角度測量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。 [詳情]

1、角度測量原理 角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會導致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現(xiàn)±1…[詳情]

鐳測科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測量技術(shù)，技術(shù)指標達到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學組件結(jié)合，可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準的高效率量測工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

1、直線度測量原理 雙頻激光測頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進行干涉測量。通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導軌相對于激…[詳情]

1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個測量基準軸對兩個標稱正交坐標中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進行比較，算出兩個軸之間的垂直度。共同的參考基準是直線度反射鏡的光學基準軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調(diào)整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學軸為參考基準。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內(nèi)沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]