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1、重復(fù)定位精度測(cè)量原理重復(fù)定位精度測(cè)量主要用到干涉儀的線性測(cè)量，即對(duì)待測(cè)平移裝置的定位進(jìn)行多次測(cè)量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測(cè)量是激光干涉儀的基本測(cè)量，原理如圖所示。將一個(gè)角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個(gè)角錐反射鏡…[詳情]